Al2O3（氧化铝）在这里最常用。由于它与水的相互作用，氧化物被认为是敏感层，用于湿度传感器。水积聚在金属氧化物的表面上。传感器分为两层。基础电极由铝制成，在其上施加了多孔氧化物层。比较传感器的最佳方法是使用电容器。将水蒸气可渗透的金薄层施加到对电极上。敏感层必须尽可能大，以便能够表现出高灵敏度。水蒸气通过金层进入敏感层的孔隙并积聚。化学吸附分离表面上的水分子以形成羟基。更多的水分子现在可以通过范德华力与羟基结合。结合的水分子现在与周围的湿度平衡，并影响容量，从而影响“电容器”的电导率。然后通过比较简单的阻抗测量获得测量值。与绝对湿度有很好的相关性。敏感层的老化效应需要定期校准，最终客户无法执行。该方法也不适合腐蚀性气体。