氧气测量

防真空氧气探头

摘要:用于 PVD 或磁控溅射的真空密封氧探头

Vakuum-O2-Sonde-2.jpg电位计 ZrO2 电池用作传感器元件。

在此,二氧化锆的氧离子电导率在高温下使用。传感器元件构造为管状电池。

除了电加热器外,用空气冲洗的参考电极作为参考,位于封闭管内。

测量电极位于 ZrO2 管的外侧。

跨电极的电压与跨电极的氧分压差的对数成比例。

所有用于加热控制和信号预处理的电子设备都安装在探头的连接头中。它还包含一个为参比电极提供空气的隔膜泵。加热调节至 700 °C。

输出信号 0 ... 20 mA 与电池电压成正比。

应用领域

  • 真空系统中的 O2 测量(PVD 或磁控溅射)

  • 低压系统中的过程监控


提示

与在常压下使用的探头相比,真空探头不是免校准的,因为由于热能的压力依赖性耗散,无法实现等温测量电极,这是应用能斯特方程的先决条件。探头必须由用户使用测试测量进行校准。

真空探头技术数据


长度140...300
直径6 mm,带保护管 16 mm
方面1.5公斤
尺寸夹头150x63x35mm
防护等级IP54
安装选项KF40,其他根据要求
法兰处的最高温度60 °C
工作电压24 V DC +/- 10 %
能量消耗1,2 A
制热量30 W
打印区1,5 x 105...1 x 10-5 Pa
传感器电压范围

0...400mV 或 0...1200mV

(电路板上的量程切换)

测量范围(氧分压)1 x 105...1 x 10-21 Pa
输出信号0-20 mA
准确性< 5% 相对。 错误
传感器工作温度700°C(电子控制)
偏置(带保护套)-15...-20 mV
他的泄漏率< 10-8 mbar l/s
Strömungsgeschwindigkeit Messgasmax. 10 m/s
参考气体空气
参考气体体积5...10 l/h(通过内部泵)



插头分配(类型 423 6pol.,公司活页夹,订单号:99-5622-15-06):

1+ 24 V
2GND
3+ IA20 mA 对应于 400 或 1200 mV(取决于设置)
4- IA
5就绪接触(无电位)

60V/1A 直流或

125V/1A 交流

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